(19)
(11) EP 1 554 622 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.07.2005  Patentblatt  2005/29

(21) Anmeldenummer: 03757915.8

(22) Anmeldetag:  07.10.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 17/08, G02B 7/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/011042
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/038481 (06.05.2004 Gazette  2004/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 19.10.2002 DE 10248849

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • WEBER, Ulrich
    89073 Ulm (DE)
  • KOHL, Alexander
    73433 Aalen (DE)
  • HOLDERER, Hubert
    89551 Koenigsbronn (DE)
  • SCHOEPPACH, Armin
    89073 Ulm (DE)
  • GABER, Erwin
    89522 Heidenheim (DE)
  • KAISER, Winfried
    73431 Aalen (DE)
  • GARREIS, Reiner
    73431 Aalen (DE)
  • GRUNER, Toralf
    73433 Aalen-Hofen (DE)

(74) Vertreter: Lorenz, Werner, Dr.-Ing. 
Lorenz & Kollegen,Alte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR AUFNAHME EINES STRAHLTEILERELEMENTS