| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK |
| (30) |
Priorität: |
24.10.2002 DE 10249771
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| (71) |
Anmelder: Amtec Anwendungszentrum für Mikrotechnologien Chemnitz Gesellschaft mit beschränkter
Haftung |
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09125 Chemnitz (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- KROLL, Marcel, G., F.
NL-6226 BJ Maastricht (NL)
- VAN HOOF, Nicolaas, Augustinus
NL-6343 DE Klimmen (NL)
- BIER, Uwe
09423 Gelenau (DE)
- DIETZSCH, Enrico
09456 Annaberg-Buchholz (DE)
- KRUSCHE, Michael
09126 Chemnitz (DE)
- RICHTER, Thomas
09117 Chemnitz (DE)
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| (74) |
Vertreter: Walter, Wolf-Jürgen et al |
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AnwaltskanzleiGulde Hengelhaupt Ziebig & SchneiderWallstrasse 58/59
10179 Berlin
10179 Berlin (DE) |
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