(19)
(11) EP 1 556 893 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
12.08.2004

(43) Veröffentlichungstag:
27.07.2005  Patentblatt  2005/30

(21) Anmeldenummer: 03778241.4

(22) Anmeldetag:  29.10.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/8239
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/003589
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/040644 (13.05.2004 Gazette  2004/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 31.10.2002 DE 10250834

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GRAHAM, Andrew
    81547 München (DE)
  • HOFMANN, Franz
    80995 München (DE)
  • HÖNLEIN, Wolfgang
    82008 Unterhaching (DE)
  • KRETZ, Johannes
    80538 München (DE)
  • KREUPL, Franz
    80802 München (DE)
  • LANDGRAF, Erhard
    81543 München (DE)
  • LUYKEN, Richard, Johannes
    81825 München (DE)
  • RÖSNER, Wolfgang
    85521 Ottobrunn (DE)
  • SCHULZ, Thomas
    44577 Castrop-Rauxel (DE)
  • SPECHT, Michael
    80799 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Hans-Martin, Dipl.-Ing. 
Patent- und RechtsanwälteViering, Jentschura & Partner,Steindorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) SPEICHERZELLE, SPEICHERZELLEN-ANORDNUNG, STRUKTURIER-ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SPEICHERZELLE