(19)

(11)

EP 1 556 907 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 27.07.2005  Patentblatt  2005/30 (21) Anmeldenummer: 03773487.8 (22) Anmeldetag:  02.10.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/053, F02M 61/16, F02M 59/46 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/003287 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/034481 (22.04.2004 Gazette  2004/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 07.10.2002 DE 10246691 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: HARDT, Rainer 90427 Nürnberg (DE) LEWENTZ, Günter 93055 Regensburg (DE)