(19)
(11) EP 1 558 916 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.06.2004

(43) Veröffentlichungstag:
03.08.2005  Patentblatt  2005/31

(21) Anmeldenummer: 03795806.3

(22) Anmeldetag:  05.11.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G01N 21/55
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/012354
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/042378 (21.05.2004 Gazette  2004/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 05.11.2002 DE 10251734
11.11.2002 DE 10252340

(71) Anmelder: Quiss GmbH
82178 Puchheim (DE)

(72) Erfinder:
  • LINNENKOHL, Jan, Anders
    81247 München (DE)
  • SRSAN, Dubravico
    82178 Puchheim (DE)
  • GANZKE, Witold
    82256 Fürstenfeldbruck (DE)
  • WEISHEIT, Kenneth
    86391 Stadtbergen (DE)

(74) Vertreter: Ascherl, Andreas et al
HammondsRechtsanwälte - PatentanwälteKarl-Scharnagl-Ring 7
80539 München
80539 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM ERKENNEN EINER AUF EINEM SUBSTRAT AUFZUBRINGENDEN STRUKTUR SOWIE GEEIGNETE VERFAHREN HIERFÜR