(19)
(11) EP 1 559 131 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
05.08.2004

(43) Veröffentlichungstag:
03.08.2005  Patentblatt  2005/31

(21) Anmeldenummer: 03779674.5

(22) Anmeldetag:  27.10.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/003567
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/042800 (21.05.2004 Gazette  2004/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 08.11.2002 DE 10252058

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FUHRMANN, Dirk
    80807 München (DE)
  • LINDSTEDT, Reidar
    81739 München (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) HALBLEITERANORDNUNG