| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
| (30) |
Priorität: |
11.11.2002 DE 10253058
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| (71) |
Anmelder: |
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- INSTITUT FÜR PHYSIKALISCHE HOCHTECHNOLOGIE E.V.
07745 Jena (DE)
- Templatec-Softwareent Wicklung Christian Schacht;Zabel Gbr;
07745 Jena (DE)
- CS CLEAN SYSTEMS AG
85737 Ismaning (DE)
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| (72) |
Erfinder: |
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- WUTTIG, Andreas
07749 Jena (DE)
- RIESENBERG, Rainer
07749 Jena (DE)
- SCHACHTZABEL, Christian
07745 Jena (DE)
- KOPATZKI, Eckard
85737 Ismaning (DE)
- POPP, Jürgen
07751 Jena (DE)
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| (74) |
Vertreter: Bock, Gerhard, Dipl.-Ing. et al |
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PatentanwälteBock & Bieber GbRAlbert-Einstein-Strasse 6
07745 Jena
07745 Jena (DE) |
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