(19)

(11)

EP 1 561 245 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 07.04.2005 (43) Veröffentlichungstag: 10.08.2005  Patentblatt  2005/32 (21) Anmeldenummer: 03767422.3 (22) Anmeldetag:  12.11.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 31/105, H01L 31/0352, H01L 31/0224 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2003/003739 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/044994 (27.05.2004 Gazette  2004/22)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 12.11.2002 DE 10252878 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries GmbH 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: EINBRODT, Wolfgang 99099 Erfurt (DE) ZIMMERMANN, Horst A-3032 Eichgraben (AT) FOERTSCH, Michael A-1140 Wien (AT) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund, Dipl.-Ing.  Leonhard - Olgemöller - FrickePatentanwältePostfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)