(19)
(11) EP 1 563 534 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.08.2005  Patentblatt  2005/33

(21) Anmeldenummer: 03767441.3

(22) Anmeldetag:  20.11.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/768
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/003845
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/049431 (10.06.2004 Gazette  2004/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 23.11.2002 DE 10254815

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BRADL, Stephan
    93096 Köfering (DE)
  • KERKEL, Klaus
    93073 Neutraubling (DE)
  • LINDNER, Christine
    90602 Pyrbaum (DE)

(74) Vertreter: Kindermann, Peter, Dipl.-Ing. 
Kindermann PatentanwältePostfach 1330
85627 Grasbrunn
85627 Grasbrunn (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM GALVANISCHEN AUFBRINGEN EINES METALLS, INSBESONDERE VON KUPFER, VERWENDUNG DIESES VERFAHRENS UND INTEGRIERTE SCHALTUNGSANORDNUNG