(19)

(11)

EP 1 565 791 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 12.08.2004 (43) Veröffentlichungstag: 24.08.2005  Patentblatt  2005/34 (21) Anmeldenummer: 03782226.9 (22) Anmeldetag:  24.11.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/42 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/013193 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/049064 (10.06.2004 Gazette  2004/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 26.11.2002 DE 10254990 (71) Anmelder: Technotrans AG 48336 Sassenberg (DE)	(72) Erfinder: OELER, Michael 48336 Sassenberg (DE) KÖSTERS, Rainer 48477 Hörstel-Bevergern (DE) (74) Vertreter: Steinmeister, Helmut  TER MEER STEINMEISTER & PARTNER GbR, Artur-Ladebeck-Strasse 51 33617 Bielefeld 33617 Bielefeld (DE)