(19)
(11) EP 1 565 949 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.10.2004

(43) Veröffentlichungstag:
24.08.2005  Patentblatt  2005/34

(21) Anmeldenummer: 03788820.3

(22) Anmeldetag:  24.11.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 45/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/003885
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/049440 (10.06.2004 Gazette  2004/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 26.11.2002 DE 10255117

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MIKOLAJICK, Thomas
    01069 Dresden (DE)
  • WERNER, Wolfgang
    81545 München (DE)
  • KLOSE, Helmut
    VERSTORBEN ()

(74) Vertreter: Kottmann, Heinz Dieter 
Patentanwälte MÜLLER & HOFFMANN, Innere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) HALBLEITERSPEICHEREINRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG