PROCEDES DE SYNTHESE ET DE CROISSANCE DE NANOTIGES D'UN CARBURE METALLIQUE SUR UN SUBSTRAT, SUBSTRATS AINSI OBTENUS ET LEURS APPLICATIONS - Patent 1570101

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EP 1 570 101 A2

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(88)	Date de publication A3:
	10.09.2004

(43)	Date de publication:
	07.09.2005 Bulletin 2005/36

(21)	Numéro de dépôt: 03799710.3

(22)	Date de dépôt: 04.12.2003

(51)	Int. Cl.⁷: C23C 14/00, C23C 16/26, C01B 31/02, C23C 14/58, C23C 16/02, B82B 3/00

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2003/050154

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2004/055232 (01.07.2004 Gazette 2004/27)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

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Priorité:

09.12.2002 FR 0215530

(71)	Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
	75752 Paris 15ème (FR)

(72)	Inventeurs:
	DELAUNAY, Marc F-38240 Meylan (FR) VINET, Françoise F-38000 Grenoble (FR)

(74)	Mandataire: Poulin, Gérard
	Brevatome 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	PROCEDES DE SYNTHESE ET DE CROISSANCE DE NANOTIGES D'UN CARBURE METALLIQUE SUR UN SUBSTRAT, SUBSTRATS AINSI OBTENUS ET LEURS APPLICATIONS