(19)
(11) EP 1 570 507 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
10.09.2004

(43) Veröffentlichungstag:
07.09.2005  Patentblatt  2005/36

(21) Anmeldenummer: 03812235.4

(22) Anmeldetag:  28.11.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01J 61/09, H05G 2/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/IB2003/005496
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/051698 (17.06.2004 Gazette  2004/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 04.12.2002 DE 10256663

(71) Anmelder: Koninklijke Philips Electronics N.V.
5621 BA Eindhoven (NL)

(72) Erfinder:
  • Derra, Guenther Hans
    52066 Aachen (DE)
  • Pankert, Joseph Robert Rene
    52066 Aachen (DE)
  • Neff, Willi
    52066 Aachen (DE)
  • Bergmann, Klaus
    52066 Aachen (DE)
  • Jonkers, Jeroen
    52066 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Volmer, Georg 
Philips Intellectual Property & Standards GmbH, Postfach 50 04 42
52088 Aachen
52088 Aachen (DE)

   


(54) GASENTLADUNGSLAMPE FÜR EUV-STRAHLUNG