(19)
(11) EP 1 573 378 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.09.2005  Patentblatt  2005/37

(21) Anmeldenummer: 03767713.5

(22) Anmeldetag:  29.11.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 21/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/013476
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/057401 (08.07.2004 Gazette  2004/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 19.12.2002 DE 10259443

(71) Anmelder: CARL ZEISS JENA GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • WOLLESCHENSKY, Ralf
    99510 Schöten (DE)
  • KEMPE, Michael
    07751 Kunitz (DE)

   


(54) VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR OPTISCHEN UNTERSUCHUNG UND/ODER BEARBEITUNG EINER PROBE