(19)
(11) EP 1 573 400 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.04.2005

(43) Veröffentlichungstag:
14.09.2005  Patentblatt  2005/37

(21) Anmeldenummer: 03767816.6

(22) Anmeldetag:  18.12.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7G03F 7/16, G03F 7/34, G03F 7/32
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2003/014460
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/059393 (15.07.2004 Gazette  2004/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 20.12.2002 DE 10260235

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KRÖNINGER, Werner
    93073 Neutraubling (DE)
  • SCHNEEGANS, Manfred
    85591 Vaterstetten (DE)

(74) Vertreter: Kindermann, Peter et al
Kindermann Patentanwälte Postfach 1330
85627 Grasbrunn
85627 Grasbrunn (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN EINER RESISTSCHICHT, VERWENDUNGEN VON KLEBEMATERIALIEN SOWIE KLEBEMATERIALIEN UND RESISTSCHICHT