MESSVERFAHREN UND MESSSYSTEM ZUR VERMESSUNG DER ABBILDUNGSQUALITÄT EINES OPTISCHEN ABBILDUNGSSYSTEMS - Patent 1573401

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EP 1 573 401 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	14.09.2005 Patentblatt 2005/37

(21)	Anmeldenummer: 02798349.3

(22)	Anmeldetag: 19.12.2002

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: G03F 7/20, G01M 11/02

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2002/014559

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2004/057423 (08.07.2004 Gazette 2004/28)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE SI SK TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK RO

(71)	Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
	73447 Oberkochen (DE)

(72)	Erfinder:
	WEGMANN, Ulrich 89551 Königsbronn (DE)

(74)	Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner
	Postfach 10 40 36 70035 Stuttgart 70035 Stuttgart (DE)

(54)	MESSVERFAHREN UND MESSSYSTEM ZUR VERMESSUNG DER ABBILDUNGSQUALITÄT EINES OPTISCHEN ABBILDUNGSSYSTEMS