(19)
(11) EP 1 573 781 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
08.04.2004

(43) Date de publication:
14.09.2005  Bulletin  2005/37

(21) Numéro de dépôt: 03756539.7

(22) Date de dépôt:  08.08.2003
(51) Int. Cl.7H01L 21/00
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2003/002492
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2004/017385 (26.02.2004 Gazette  2004/09)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Etats d'extension désignés:
AL LT LV MK

(30) Priorité: 14.08.2002 FR 0210292

(71) Demandeur: Joint Industrial Processors for Electronics
72430 Noyen sur Sarthe (FR)

(72) Inventeurs:
  • DUCRET, René-Pierre
    F-38360 Sassenage (FR)
  • GUILLON, Hervé
    F-38240 Meylan (FR)
  • LAPORTE, Franck
    F-38190 Bernin (FR)
  • HICKEL, Pierre-Emmanuel
    F-38000 Grenoble (FR)

(74) Mandataire: Jouvray, Marie-Andrée et al
Cabinet Hecké World Trade Center - Europole 5, place Robert Schuman B.P. 1537
F-38025 Grenoble Cedex 1
F-38025 Grenoble Cedex 1 (FR)

   


(54) DISPOSITIF DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE COMPORTANT A L'INTERIEUR DE LA CHAMBRE DE REACTION DES LAMPES INFRAROUGES HALOGENES A PAROI FROIDE