(19)

(11)

EP 1 573 821 A1

(12)

(43) Date de publication: 14.09.2005  Bulletin  2005/37 (21) Numéro de dépôt: 03809998.2 (22) Date de dépôt:  17.12.2003

(51) Int. Cl.7: H01L 27/146 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2003/050186 (87) Numéro de publication internationale: WO 2004/057675 (08.07.2004 Gazette  2004/28)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 19.12.2002 FR 0216178 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75752 Paris Cédex 15 (FR)	(72) Inventeur: GIDON, Pierre F-38130 Echirolles (FR) (74) Mandataire: Poulin, Gérard et al Brevatome 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)