(19)
(11) EP 1 576 420 B8

(12) FASCICULE DE BREVET EUROPEEN CORRIGE
Avis: La bibliographie est mise à jour

(15) Information de correction:
Version corrigée no  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum publié le:
04.10.2006  Bulletin  2006/40

(45) Mention de la délivrance du brevet:
09.08.2006  Bulletin  2006/32

(21) Numéro de dépôt: 03799684.0

(22) Date de dépôt:  22.12.2003
(51) Int. Cl.: 
G03F 7/00(2006.01)
B81C 1/00(2006.01)
 B29C 59/02(2006.01)
G03F 7/09(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2003/003866
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2004/059386 (15.07.2004 Gazette  2004/29)

(54)

PROCEDE DE LITHOGRAPHIE PAR PRESSAGE D'UN SUBSTRAT METTANT EN OEUVRE UNE NANO-IMPRESSION

LITHOGRAFIEVERFAHREN DURCH PRESSEN EINES SUBSTRATS IN EINEM NANOIMPRINT-PROZESS

NANO-IMPRINT LITHOGRAPHY METHOD INVOLVING SUBSTRATE PRESSING

(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 23.12.2002 FR 0216540

(43) Date de publication de la demande:
21.09.2005  Bulletin  2005/38

(73) Titulaires:
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    75015 Paris (FR)
  • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
    75016 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • PERRET, Corinne
    f-38950 Quaix-En-Chartreuse (FR)
  • GOURGON, Cécile
    F-38110 Cessieu (FR)
  • LANDIS, Stephan
    F-38110 La-Tour-du-Pin (FR)

(74) Mandataire: Quantin, Bruno Marie Henri 
Santarelli 14 Avenue de la Grande Armée B.P. 237
75822 Paris Cedex 17
75822 Paris Cedex 17 (FR)


(56) Documents cités: : 
WO-A-01/79933
US-A1- 2002 170 880
 US-A- 5 772 905
   
  • LEBIB A ET AL: "Tri-layer systems for nanoimprint lithography with an improved process latitude" MICROELECTRONIC ENGINEERING, ELSEVIER PUBLISHERS BV., AMSTERDAM, NL, vol. 53, no. 1-4, juin 2000 (2000-06), pages 175-178, XP004237747 ISSN: 0167-9317 cité dans la demande
   
Il est rappelé que: Dans un délai de neuf mois à compter de la date de publication de la mention de la délivrance de brevet européen, toute personne peut faire opposition au brevet européen délivré, auprès de l'Office européen des brevets. L'opposition doit être formée par écrit et motivée. Elle n'est réputée formée qu'après paiement de la taxe d'opposition. (Art. 99(1) Convention sur le brevet européen).