(19)
(11) EP 1 576 641 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
17.10.2007  Patentblatt  2007/42

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
05.09.2007  Patentblatt  2007/36

(21) Anmeldenummer: 03753214.0

(22) Anmeldetag:  30.10.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
 C23C 14/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH2003/000710
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/057642 (08.07.2004 Gazette  2004/28)

(54)

VACUUMARCQUELLE MIT MAGNETFELDERZEUGUNGSEINRICHTUNG

VACUUM ARC SOURCE COMPRISING A DEVICE FOR GENERATING A MAGNETIC FIELD

SOURCE D'ARC SOUS VIDE COMPRENANT UN DISPOSITIF DE PRODUCTION DE CHAMP MAGNETIQUE

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 19.12.2002 CH 216302

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
21.09.2005  Patentblatt  2005/38

(73) Patentinhaber: Oerlikon Trading AG, Trübbach
9477 Trübbach (CH)

(72) Erfinder:
  • SCHÜTZE, Andreas
    Marina del Rey, CA 90292 (US)
  • WOHLRAB, Christian
    A-6800 Feldkirch (AT)


(56) Entgegenhaltungen: : 
WO-A-02/077318
 US-A- 5 298 136
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).