(19)
(11) EP 1 580 435 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
30.12.2009  Patentblatt  2009/53

(43) Veröffentlichungstag A2:
28.09.2005  Patentblatt  2005/39

(21) Anmeldenummer: 05003720.9

(22) Anmeldetag:  22.02.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR LV MK YU

(30) Priorität: 16.03.2004 DE 102004012713

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Conrad, Armin
    35745 Herborn (DE)
  • Fahrenbach, Peter
    35619 Braunfels (DE)

   


(54) Turbomolekularpumpe


(57) Eine Turbomolekularpumpe (T) umfasst eine Mehrzahl von abwechselnd axial hintereinander angeordneten, mit Schaufeln (10) versehenen Rotor- und Statorscheiben (8, 9), wobei die Schaufeln (10) zur Hochvakuumseite (2) hin einen steileren Anstellwinkel α aufweisen als die Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin. Um insbesondere den Wirkungsgrad zu erhöhen, wird die Turbomolekularpumpe (T) so ausgebildet, dass der Anstellwinkel α der Schaufeln (10) zurVakuumseite (3) hin weniger als 8°, vorzugsweise weniger als 5°, beträgt. Die Herstellung der Schaufeln (10) erfolgt vorzugsweise durch High-Speed-Cutting.







Recherchenbericht