(19)
(11) EP 1 581 966 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
10.09.2004

(43) Veröffentlichungstag:
05.10.2005  Patentblatt  2005/40

(21) Anmeldenummer: 03799455.5

(22) Anmeldetag:  23.12.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/762
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/004286
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/064123 (29.07.2004 Gazette  2004/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 10.01.2003 DE 10300577

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KOHLMANN-VON PLATEN, Klaus
    25524 Itzehoe (DE)
  • BERNT, Helmut
    10987 Berlin (DE)
  • FRIEDRICH, Detlef
    25524 Itzehoe (DE)

(74) Vertreter: Gagel, Roland 
Patentanwalt Dr. Roland Gagel, Landsberger Strasse 480a
81241 München
81241 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS