(19)
(11) EP 1 581 967 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.10.2005  Patentblatt  2005/40

(21) Anmeldenummer: 03782133.7

(22) Anmeldetag:  05.12.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/764
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2003/004014
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/051739 (17.06.2004 Gazette  2004/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 05.12.2002 DE 10257098

(71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG
99097 Erfurt (DE)

(72) Erfinder:
  • FREYWALD, Karlheinz
    99086 Erfurt (DE)

(74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund 
Leonhard - Olgemöller - Fricke, Postfach 10 09 62
80083 München
80083 München (DE)

   


(54) ERZEUGEN HERMETISCH DICHT GESCHLOSSENER, DIELEKTRISCH ISOLIERENDER TRENNGRAEBEN (TRENCHES)