(19)
(11) EP 1 588 409 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.10.2005  Patentblatt  2005/43

(21) Anmeldenummer: 04705375.6

(22) Anmeldetag:  27.01.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/20, H01L 21/762, H01L 33/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/000121
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/068567 (12.08.2004 Gazette  2004/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 31.01.2003 DE 10303978

(71) Anmelder: Osram Opto Semiconductors GmbH
93049 Regensburg (DE)

(72) Erfinder:
  • STAUSS, Peter
    93186 Pettendorf (DE)
  • PLÖSSL, Andreas
    93053 Regensburg (DE)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) DÜNNFILMHALBLEITERBAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTEL LUNG