(19)

(11)

EP 1 588 417 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 28.10.2004 (43) Veröffentlichungstag: 26.10.2005  Patentblatt  2005/43 (21) Anmeldenummer: 04702285.0 (22) Anmeldetag:  15.01.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/8247 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2004/000042 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/068578 (12.08.2004 Gazette  2004/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 30.01.2003 DE 10303847 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE) Gratz, Achim 01099 Dresden (DE)	(72) Erfinder: Gratz, Achim 01099 Dresden (DE) Polei, Veronika 01109 Dresden (DE) Röhrich, Mark 01099 Dresden (DE) (74) Vertreter: Hudler, Frank  Lippert, Stachow & Partner Krenkelstrasse 3 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)