SOI STRUKTUR MIT SUBSTRATKONTAKTEN BEIDSEITS DER BOX UND HERSTELLUNGS-VERFAHREN FÜR EINE SOLCHE STRUKTUR - Patent 1588418

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EP 1 588 418 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	26.10.2005 Patentblatt 2005/43

(21)	Anmeldenummer: 04706606.3

(22)	Anmeldetag: 30.01.2004

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 21/84, H01L 27/12

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE2004/000147

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2004/068579 (12.08.2004 Gazette 2004/33)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK

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Priorität:

30.01.2003 DE 10303642

(71)	Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG
	99097 Erfurt (DE)

(72)	Erfinder:
	RICHTER, Steffen 99192 Apfelstaedt (DE) NUERNBERGK, Dirk 99084 Erfurt (DE) GOETTLICH, Wolfgang 99091 Erfurt (DE)

(74)	Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al
	Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)

(54)	SOI STRUKTUR MIT SUBSTRATKONTAKTEN BEIDSEITS DER BOX UND HERSTELLUNGS-VERFAHREN FÜR EINE SOLCHE STRUKTUR