| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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CH DE FR GB LI |
| (30) |
Priorität: |
22.12.1998 DE 19859314 03.08.1999 DE 19936573
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| (43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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02.11.2005 Patentblatt 2005/44 |
| (62) |
Anmeldenummer der früheren Anmeldung nach Art. 76 EPÜ: |
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99964647.4 / 1141763 |
| (73) |
Patentinhaber: Carl Zeiss MicroImaging GmbH |
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07745 Jena (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Wolleschensky, Ralf
99510 Schöten (DE)
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| (74) |
Vertreter: Heim, Hans-Karl et al |
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Weber & Heim
Patentanwälte
Irmgardstrasse 3 81479 München 81479 München (DE) |
| (56) |
Entgegenhaltungen: :
EP-A- 0 148 803 DE-A1- 19 633 185
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WO-A-97/30371 US-A- 5 418 371
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- PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Bd. 014, Nr. 059 (P-1000), 2. Februar 1990 (1990-02-02)
& JP 01 282515 A (TOKYO ELECTRON LTD), 14. November 1989 (1989-11-14)
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