(19)

(11)

EP 1 597 480 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 23.11.2005  Patentblatt  2005/47 (21) Anmeldenummer: 03767639.2 (22) Anmeldetag:  25.11.2003

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04B 39/10 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2003/013215 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/076860 (10.09.2004 Gazette  2004/37)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 27.02.2003 DE 10308421 (71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: BURGHARD, Hans-Josef 50937 Köln (DE) BAHNEN, Rudolf 52159 Roetgen (DE) HODAPP, Josef 50935 Köln (DE) LANGER, Peter 45481 Mühlheim (DE) (74) Vertreter: Leineweber, Jürgen  Aggerstrasse 24 50859 Köln 50859 Köln (DE)