(19)
(11) EP 1 597 755 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.05.2005

(43) Veröffentlichungstag:
23.11.2005  Patentblatt  2005/47

(21) Anmeldenummer: 04702322.1

(22) Anmeldetag:  15.01.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/60, H01L 21/68
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/000263
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/077546 (10.09.2004 Gazette  2004/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 28.02.2003 DE 10308928

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WEIDNER, Karl
    81245 München (DE)
  • WOLFGANG, Eckhard
    81379 München (DE)
  • ZAPF, Jörg
    81927 München (DE)

   


(54) DIREKT AUF UNGEHÄUSTEN BAUELEMENTEN ERZEUGTE FREITRAGENDE KONTAKTIERSTRUKTUREN