(19)
(11) EP 1 597 757 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
12.05.2005

(43) Veröffentlichungstag:
23.11.2005  Patentblatt  2005/47

(21) Anmeldenummer: 04705063.8

(22) Anmeldetag:  26.01.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 21/60
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/000629
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/077548 (10.09.2004 Gazette  2004/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 28.02.2003 DE 10308978

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • SELIGER, Norbert
    81929 München (DE)
  • WEIDNER, Karl
    81245 München (DE)
  • ZAPF, Jörg
    81927 München (DE)

   


(54) VERBINDUNGSTECHNIK FÜR LEISTUNGSHALBLEITER MIT EINER DER OBERFLÄCHENKONTUR FOLGENDEN SCHICHT AUS ELEKTRISCH ISOLIERENDEM MATERIAL