| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK |
| (30) |
Priorität: |
27.02.2003 DE 10308860
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| (71) |
Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG |
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99097 Erfurt (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- KNECHTEL, Roy
98716 Geraberg (DE)
- HELLER, Jutta
99102 Erfurt (DE)
- LINDEMANN, Gunnar
99099 Erfurt (DE)
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| (74) |
Vertreter: Leonhard, Frank Reimund |
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Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62
80083 München
80083 München (DE) |
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