(19)

(11)

EP 1 599 713 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 22.09.2005 (43) Veröffentlichungstag: 30.11.2005  Patentblatt  2005/48 (21) Anmeldenummer: 04700690.3 (22) Anmeldetag:  08.01.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01M 3/04 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2004/000062 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/072601 (26.08.2004 Gazette  2004/35)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 14.02.2003 DE 10306245 (71) Anmelder: Inficon GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: GROSSE BLEY, Werner 53125 Bonn (DE) BÖHM, Thomas 50859 Köln (DE) SCHEER, Willi 50966 Köln (DE) (74) Vertreter: Selting, Günther  Patentanwälte von Kreisler-Selting-Werner, Bahnhofsvorplatz 1 (Deichmannhaus) 50667 Köln 50667 Köln (DE)