(19)

(11)

EP 1 602 122 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.12.2005  Patentblatt  2005/49 (21) Anmeldenummer: 04718650.7 (22) Anmeldetag:  09.03.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/32 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2004/002411 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/081967 (23.09.2004 Gazette  2004/39)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 11.03.2003 DE 10310524 (71) Anmelder: Micronas GmbH 79108 Freiburg (DE)	(72) Erfinder: FÖH, Dennis 79194 Gundelfingen (DE) (74) Vertreter: Göhring, Robert  Westphal - Mussgnug & Partner Patentanwälte Am Riettor 5 78048 Villingen-Schwenningen 78048 Villingen-Schwenningen (DE)