(19)
(11) EP 1 606 600 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.03.2005

(43) Veröffentlichungstag:
21.12.2005  Patentblatt  2005/51

(21) Anmeldenummer: 04721498.6

(22) Anmeldetag:  18.03.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01L 9/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/002817
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/083110 (30.09.2004 Gazette  2004/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 18.03.2003 DE 10311757

(71) Anmelder: Microgan GmbH
89081 Ulm (DE)

(72) Erfinder:
  • KUNZE, Mike
    89250 Senden (DE)
  • DAUMILLER, Ingo
    89165 Dietenheim (DE)
  • BENKART, Peter
    86447 Stotzard (DE)
  • KOHN, Erhard
    89081 Ulm/Lehr (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Mozartstrasse 17
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) SENSORELEMENTE MIT FREITRAGENDEN BALKENSTRUKTUREN AUS HALBLEITERN AUF GRUPPE-III-NITRIDBASIS