(19)

(11)

EP 1 609 194 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 10.02.2005 (43) Veröffentlichungstag: 28.12.2005  Patentblatt  2005/52 (21) Anmeldenummer: 04713079.4 (22) Anmeldetag:  20.02.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2004/001703 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/086514 (07.10.2004 Gazette  2004/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK (30) Priorität: 28.03.2003 DE 10314163 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: BRABEC, Christoph 91054 Erlangen (DE) WITTMANN, Georg 91074 Herzogenaurach (DE)