(19)
(11) EP 1 614 145 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
24.02.2005

(43) Veröffentlichungstag:
11.01.2006  Patentblatt  2006/02

(21) Anmeldenummer: 04727512.8

(22) Anmeldetag:  15.04.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(1974.07)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/000804
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/093162 (28.10.2004 Gazette  2004/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL HR LT LV MK

(30) Priorität: 15.04.2003 DE 10318568

(71) Anmelder: Technische Universität Dresden
01069 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • RICHTER, Karola
    01239 Dresden (DE)
  • FISCHER, Daniel
    01159 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Hempel, Hartmut 
Patentanwaltskanzlei, Jagdweg 10
01159 Dresden
01159 Dresden (DE)

   


(54) SILIZIUMSUBSTRAT MIT POSITIVEN TZPROFILEN MIT DEFINIERTEM B SCHUNGSWINKEL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG