(19)
(11) EP 1 614 150 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.03.2005

(43) Veröffentlichungstag:
11.01.2006  Patentblatt  2006/02

(21) Anmeldenummer: 04762977.9

(22) Anmeldetag:  08.04.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(1974.07)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/003764
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/001888 (06.01.2005 Gazette  2005/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL HR LT LV MK

(30) Priorität: 11.04.2003 DE 10317275
02.10.2003 DE 10347464

(71) Anmelder: Dynamic Microsystems Semiconductor Equipment GmbH
78315 Radolfzell (DE)

(72) Erfinder:
  • MORAN, Thomas
    78315 Radolfzell (DE)
  • REBSTOCK, Lutz
    78343 Gaienhofen (DE)

(74) Vertreter: Duhme, Torsten et al
Witte, Weller & Partner, Patentanwälte, Postfach 10 54 62
70047 Stuttgart
70047 Stuttgart (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM REINIGEN VON BEI DER HERSTELLUNG VON HALBLEITERN VERWENDETEN GEGENSTÄNDEN, INSBESONDERE VON TRANSPORT- UND REINIGUNGSBEHÄLTERN FÜR WAFER