(19)

(11)

EP 1 616 348 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.01.2006  Patentblatt  2006/03 (21) Anmeldenummer: 04727825.4 (22) Anmeldetag:  16.04.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/68(1974.07) H01L 23/544(1990.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2004/000801 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/095567 (04.11.2004 Gazette  2004/45)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL HR LT LV MK (30) Priorität: 17.04.2003 DE 10317747 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: LERNER, Ralf 99085 Erfurt (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund  Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)