(19)
(11) EP 1 617 274 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
05.09.2007  Patentblatt  2007/36

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
11.07.2007  Patentblatt  2007/28

(21) Anmeldenummer: 04023508.7

(22) Anmeldetag:  01.10.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/10(2006.01)
G02B 21/02(2006.01)
 G02B 21/00(2006.01)

(54)

Anordnung zur mikroskopischen Beobachtung und/oder Detektion in einem Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung und Verwendung

System for the microscopic observation and/or detection in a light scanning microscope with linear illumination and use

Système pour observation microscopique et/ou détection dans un microscope à balayage avec illumination linéaire et utilisation

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 16.07.2004 DE 102004034958

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
18.01.2006  Patentblatt  2006/03

(73) Patentinhaber: CARL ZEISS JENA GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • Wolleschensky, Ralf
    07743 Jena (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
DE-A- 10 257 237
DE-A1- 19 630 322
US-A- 4 634 234
 DE-A1- 3 409 657
US-A- 4 626 079
   
  • PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Bd. 010, Nr. 080 (P-441), 29. März 1986 (1986-03-29) & JP 60 217325 A (NIHON KOUGAKU KOGYO KK), 30. Oktober 1985 (1985-10-30)
  • PATENT ABSTRACTS OF JAPAN Bd. 009, Nr. 203 (P-381), 21. August 1985 (1985-08-21) & JP 60 067916 A (HITACHI SEISAKUSHO KK), 18. April 1985 (1985-04-18)
  • "OPTIMUM DARK FIELD ILLUMINATION FOR COORDINATE MEASUREMENTS ON WAFERS" IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, IBM CORP. NEW YORK, US, Bd. 32, Nr. 8B, Januar 1990 (1990-01), Seiten 422-425, XP000082130 ISSN: 0018-8689
  • LINDEK S. ET AL: 'Single-lens theta microscopy - a new implementation of confocal theta microscopy' JOURNAL OF MICROSCOPY Bd. 188, Nr. 3, Dezember 1997, Seiten 280 - 284
  • SWOGER J. ET AL: 'A confocal fiber-coupled single-lens theta microscope' REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Bd. 69, Nr. 8, August 1998, Seiten 2956 - 2963
  • LINDEK S. ET AL: 'Single-lens theta microscopy: resolution, efficiency and working distance' JOURNAL OF MODERN OPTICS Bd. 46, Nr. 5, 1999, Seiten 843 - 858, XP009056034
  • HAAR F.-M. ET AL: 'Developments abd Applications of Confocal Theta Microscopy' SPIE CONFERENCE ON THREE-DIMENSIONAL AND MULTIDIMENSIONAL MICROSCOPY Bd. 3605, Januar 1999, Seiten 48 - 54
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).