(19)
(11) EP 1 618 429 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.01.2006  Patentblatt  2006/04

(21) Anmeldenummer: 04728340.3

(22) Anmeldetag:  20.04.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 27/10(1968.09)
G03F 7/20(1968.09)
G02B 17/00(1968.09)
 G02B 21/16(1968.09)
G02B 21/12(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/004160
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/097499 (11.11.2004 Gazette  2004/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL HR LT LV MK

(30) Priorität: 25.04.2003 DE 10319268

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMS GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • BRUNNER, Robert
    07743 Jena (DE)
  • DOBSCHAL, Hans-Jürgen
    99510 Kleinromstedt (DE)
  • GREIF-WÜSTENBECKER, Jörn
    35037 Marburg (DE)
  • ROSENKRANZ, Norbert
    07629 Reichenbach (DE)
  • SCHERÜBL, Thomas
    07745 Jena (DE)

   


(54) BELEUCHTUNGS- UND ABBILDUNGSSYSTEM MIT DIFFRAKTIVEM STRAHLTEILER