(19)

(11)

EP 1 620 890 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 29.09.2005 (43) Veröffentlichungstag: 01.02.2006  Patentblatt  2006/05 (21) Anmeldenummer: 04730953.9 (22) Anmeldetag:  04.05.2004

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/68(1974.07) H01L 23/538(1990.01) H05K 1/18(1968.09) H01L 21/98(1974.07) H01L 25/065(1990.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2004/000934 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2004/100253 (18.11.2004 Gazette  2004/47)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL HR LT LV MK (30) Priorität: 07.05.2003 DE 10320646 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: GOLLER, Bernd 83624 Otterfing (DE) (74) Vertreter: Schäfer, Horst  Schweiger & Partner Patent- und Rechtsanwälte Karlstrasse 35 80333 München 80333 München (DE)