VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BERÜHRUNGSLOSEN ANREGUNG VON TORSIONSSCHWINGUNGEN IN EINEM EINSEITIG EINGESPANNTEN FEDERBALKEN EINES RASTERKRAFTMIKROSKOPS - Patent 1623433

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EP 1 623 433 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	08.02.2006 Patentblatt 2006/06

(21)	Anmeldenummer: 04731578.3

(22)	Anmeldetag: 07.05.2004

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

G12B 21/08^(2000.01)

G01H 9/00^(1968.09)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2004/004876

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2004/102583 (25.11.2004 Gazette 2004/48)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB

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Priorität:

15.05.2003 DE 10321931

(71)	Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
	80686 München (DE)

(72)	Erfinder:
	REINSTÄDTLER, Michael 66280 Sulzbach (DE) SCHERER, Volker 50679 Köln (DE) ARNOLD, Walter 66119 Saarbrücken (DE)

(74)	Vertreter: Rösler, Uwe
	Rösler Patentanwaltskanzlei Landsberger Strasse 480a 81241 München 81241 München (DE)

(54)	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BERÜHRUNGSLOSEN ANREGUNG VON TORSIONSSCHWINGUNGEN IN EINEM EINSEITIG EINGESPANNTEN FEDERBALKEN EINES RASTERKRAFTMIKROSKOPS