(19)
(11) EP 1 625 388 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.02.2006  Patentblatt  2006/07

(21) Anmeldenummer: 04718904.8

(22) Anmeldetag:  10.03.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/95(2000.01)
 H01L 21/66(1974.07)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/000474
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/104566 (02.12.2004 Gazette  2004/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 19.05.2003 DE 10337727
09.10.2003 DE 10347625
11.11.2003 DE 10352936

(71) Anmelder: Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG
94496 Ortenburg (DE)

(72) Erfinder:
  • WAGNER, Robert
    94127 Neuburg am Inn (DE)

(74) Vertreter: Naumann, Ulrich 
Patentanwälte, Ullrich & Naumann, Luisenstrasse 14
69115 Heidelberg
69115 Heidelberg (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN QUALITÄTSPRÜFUNG VON OBJEKTEN MIT VOR-ZUGSWEISE KREISFÖRMIG UMLAUFENDEM RAND