(19)
(11) EP 1 625 628 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.02.2005

(43) Veröffentlichungstag:
15.02.2006  Patentblatt  2006/07

(21) Anmeldenummer: 04738539.8

(22) Anmeldetag:  18.05.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 33/00(1974.07)
C30B 29/20(1980.01)
C23C 14/08(1985.01)
C01G 3/02(1968.09)
 C30B 23/02(1980.01)
C23C 14/00(1985.01)
C01G 3/00(1968.09)
C01F 7/02(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/001069
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/106593 (09.12.2004 Gazette  2004/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 21.05.2003 DE 10323625

(71) Anmelder: Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH
14109 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • DLOCZIK, Larissa
    14471 Potsdam (DE)
  • TOMM, Yvonne
    14532 Kleinmachnow (DE)
  • DITTRICH, Thomas
    12209 Berlin (DE)
  • LUX-STEINER, Martha, Christina
    14163 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Hoffmann, Heinz-Dietrich et al
Gemeinsamer Patentservice, Hausvogteiplatz 5-7
10117 Berlin
10117 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TRANSPARENTEM P-LEITENDEN CuAlO2