(19)
(11) EP 1 625 631 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.02.2006  Patentblatt  2006/07

(21) Anmeldenummer: 04727889.0

(22) Anmeldetag:  16.04.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 51/40(1995.01)
 C23C 14/12(1985.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/004039
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/097955 (11.11.2004 Gazette  2004/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 30.04.2003 DE 10319742

(71) Anmelder: BASF Aktiengesellschaft
67056 Ludwigshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • SACHWEH, Bernd
    67149 Meckenheim (DE)
  • RÖSCH, Joachim
    67063 Ludwigshafen (DE)
  • BOLD, Markus
    67246 Dirmstein (DE)
  • GESSNER, Thomas
    69120 Heidelberg (DE)

   


(54) PULVERISIERTE ORGANISCHE HALBLEITER UND VERFAHREN ZUM AUFDAMPFEN AUF EINEN TR GER