(19)
(11) EP 1 627 098 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.02.2006  Patentblatt  2006/08

(21) Anmeldenummer: 04728787.5

(22) Anmeldetag:  22.04.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/50(1985.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/004268
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/099467 (18.11.2004 Gazette  2004/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 09.05.2003 DE 10321113
10.10.2003 DE 10347809

(71) Anmelder: BASF Aktiengesellschaft
67056 Ludwigshafen (DE)

(72) Erfinder:
  • WIRTH, Alexandra
    90542 Eckental (DE)

   


(54) ZUSAMMENSETZUNGEN ZUR STROMLOSEN ABSCHEIDUNG TERN RER MATERI ALIEN F R DIE HALBLEITERINDUSTRIE