(19)

(11)

EP 1 627 421 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 13.01.2005 (43) Date de publication: 22.02.2006  Bulletin  2006/08 (21) Numéro de dépôt: 04766022.0 (22) Date de dépôt:  26.05.2004

(51) Int. Cl.:  H01L 21/00(1974.07) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2004/050929 (87) Numéro de publication internationale: WO 2004/107392 (09.12.2004 Gazette  2004/50)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 27.05.2003 FR 0306431 (71) Demandeur: Thales 92200 Neuilly Sur Seine (FR)

(72) Inventeurs: BOIS, Philippe, THALES Intellectual Property F-94117 ARCUEIL Cedex (FR) BRIERE DE L'ISLE, Nadia, THALES Intellectual Pty F-94117 ARCUEIL Cedex (FR) COSTARD, Eric, THALES Intellectual Property F-94117 ARCUEIL Cedex (FR) DE ROSSI, Alfredo, THALES Intellectual Property F-94117 ARCUEIL Cedex (FR) (74) Mandataire: Esselin, Sophie et al Marks & Clerk France 31-33 Avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cedex 94117 Arcueil Cedex (FR)