(19)
(11) EP 1 629 254 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.03.2006  Patentblatt  2006/09

(21) Anmeldenummer: 04734224.1

(22) Anmeldetag:  21.05.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/30(1968.09)
G01J 3/04(1968.09)
 G01N 21/17(1980.01)
G01J 3/06(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2004/005446
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/106853 (09.12.2004 Gazette  2004/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 03.06.2003 DE 10324934

(71) Anmelder: CARL ZEISS JENA GmbH
07745 JENA (DE)

(72) Erfinder:
  • FRITSCH, Manfred
    07751 Kleinpürschütz (DE)
  • CORRENS, Nico
    99425 Weimar (DE)
  • KERSTAN, Felix
    07747 Jena (DE)

   


(54) ANORDNUNG UND EIN VERFAHREN ZUR ERKENNUNG VON SCHICHTEN, DIE AUF OBERFL CHEN VON BAUTEILEN ANGEORDNET SIND, UND BESTIMMUNG DE REN EIGENSCHAFTEN