(19)
(11) EP 1 629 270 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
10.02.2005

(43) Veröffentlichungstag:
01.03.2006  Patentblatt  2006/09

(21) Anmeldenummer: 04738540.6

(22) Anmeldetag:  18.05.2004
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 27/12(1968.09)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2004/001070
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2004/109807 (16.12.2004 Gazette  2004/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 31.05.2003 DE 10325150

(71) Anmelder: Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH
14109 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • FINK, Dietmar
    14109 Berlin (DE)
  • HOPPE, Kurt
    58339 Breckerfeld (DE)
  • PETROV, Alexander
    14169 Berlin (DE)
  • FAHRNER, Wolfgang
    58097 Hagen (DE)
  • ULYASHIN, Alexander
    58095 Hagen (DE)
  • STANSKI, Bernhard
    45665 Recklinghausen (DE)
  • SANDKÜHLER, Ulrich
    58099 Hagen (DE)

(74) Vertreter: Rudolph, Margit 
Gemeinsamer Patentservice Hausvogteiplatz 5-7
D-10117 Berlin
D-10117 Berlin (DE)

   


(54) HALBLEITERSTRUKTUR MIT INTEGRIERTEN DOTIERUNGSKANÄLEN.