ELEKTROCHEMISCHES VERFAHREN ZUR DIREKTEN NANOSTRUKTURIERBAREN MATERIALABSCHEIDUNG AUF EINEM SUBSTRAT UND MIT DEM VERFAHREN HERGESTELLTES HALBLEITERBAUELEMENT - Patent 1631697

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EP 1 631 697 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	08.03.2006 Patentblatt 2006/10

(21)	Anmeldenummer: 04726090.6

(22)	Anmeldetag: 07.04.2004

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Internationale Patentklassifikation (IPC):

C23C 16/44^(1985.01)

C23C 16/04^(1985.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE2004/000748

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2004/092442 (28.10.2004 Gazette 2004/44)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

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Priorität:

15.04.2003 DE 10318440

(71)	Anmelder: Hahn-Meitner-Institut Berlin Gesellschaft mit beschränkter Haftung
	14109 Berlin (DE)

(72)	Erfinder:
	SADEWASSER, Sascha 10829 Berlin (DE) GLATZEL, Thilo 14129 Berlin (DE) LUX-STEINER, Martha, Christina 14163 Berlin (DE) Vogel,Marko 10823 Berlin (DE)

(74)	Vertreter: Rudolph, Margit
	Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH, Gemeinsamer Patentservice, Hausvogteiplatz 5-7 10117 Berlin 10117 Berlin (DE)

(54)	ELEKTROCHEMISCHES VERFAHREN ZUR DIREKTEN NANOSTRUKTURIERBAREN MATERIALABSCHEIDUNG AUF EINEM SUBSTRAT UND MIT DEM VERFAHREN HERGESTELLTES HALBLEITERBAUELEMENT